退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

?

優(yōu)點(diǎn)：
1、使用方便，習(xí)慣生產(chǎn)環(huán)境；
2、爐膛內(nèi)升溫敏捷且各段溫度均勻；
3、爐體大修期確保五年以上，且爐門、燒嘴等易損部件維修方便。
缺點(diǎn)
1、設(shè)備耗油量大，效率低，環(huán)境污染嚴(yán)重；
2、由推鋼軌道等引起的毛病多，維修困難，影響了生產(chǎn)；
3、自動(dòng)化控制程度低，廢品率高，一般在12%擺布。
改進(jìn)措施：
改造后退火爐的爐溫分為三個(gè)區(qū)域。在此期間，推料器將工件推到爐的I區(qū)-加熱區(qū)。兩側(cè)墻上有四個(gè)交錯(cuò)的燃燒器。軌道由耐火磚制成的拱支撐，因此工件可以在兩側(cè)加熱。然后，有第二區(qū)和第三區(qū)——恒溫區(qū)。四個(gè)燃燒器在同一高度的兩側(cè)墻壁上交錯(cuò)排列。八個(gè)燃燒器均為低壓渦流燃燒器。在I區(qū)和II區(qū)之間設(shè)置間隔梁，在爐膛前后頂部設(shè)置兩臺(tái)復(fù)合金屬換熱器。兩側(cè)爐墻及爐底為磚結(jié)構(gòu)，爐頂為耐火纖維氈，選用高壓風(fēng)機(jī)提供助燃風(fēng)和引風(fēng)排煙。燃?xì)饽腹芎涂諝饽腹茉O(shè)有調(diào)節(jié)閥和流量孔板，引射器空氣母管也設(shè)有調(diào)節(jié)閥。配備一套領(lǐng)先的微機(jī)控制系統(tǒng)、顯示儀表和保護(hù)設(shè)備。