退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
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1.退火溫度是否達(dá)到規(guī)定溫度。亮光退火爐一般采用固溶熱處理，即所謂的退火，溫度規(guī)模為1040~1120℃（日本標(biāo)準(zhǔn)）。退火區(qū)的不銹鋼管可通過(guò)退火爐觀察孔觀察，為白熾狀態(tài)，但無(wú)軟化下垂。
2.退火氣氛。一般以純氫為退火氣氛，氣氛純度在99.99%以上。如果氣氛的另一部分是惰性氣體，純度可以更低，但不能含有太多的氧氣和水蒸氣。
3.爐體密封。亮退火爐應(yīng)關(guān)閉，與外部空氣隔離；只有一個(gè)排氣口是通過(guò)的（用于點(diǎn)燃排放的氫）。檢查方法可用肥皂水擦拭退火爐各接頭間隙，查看是否運(yùn)行氣體；簡(jiǎn)單的運(yùn)行氣體是退火爐進(jìn)出管道，當(dāng)?shù)孛芊馊δp特別簡(jiǎn)單，經(jīng)常檢查更換。
4.維護(hù)氣壓。為避免微泄漏，爐內(nèi)維護(hù)氣應(yīng)堅(jiān)持一定正壓。如果是氫氣維護(hù)氣，一般需要20kbar以上。
5.爐內(nèi)的水蒸氣。一方面，檢查爐體材料是否干燥，第一次安裝，爐體材料必須干燥；另一方面，爐內(nèi)不銹鋼管是否有過(guò)多的水漬，特別是如果管上有孔，不要漏水，否則爐氛圍會(huì)完全破壞。如果沒(méi)有這些問(wèn)題，不銹鋼管應(yīng)在開(kāi)爐后退回約20米后開(kāi)始發(fā)光，這是一種明亮的反射。
