退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

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1、退火氣氛：一般都是選用純氫作為退火氣氛，氣氛純度比較好是99.99%以上，如果氣氛中另一部分是惰性氣體的話，純度也能夠低一點，可是絕對不能含有過多氧氣、水汽。

4、爐體密封性：亮光退火爐應(yīng)是關(guān)閉的，與外界空氣隔絕;選用氫氣作維護氣的，只有一個排氣口是通的(用來點著排出的氫氣)。檢查的方法能夠用肥皂水抹在退火爐各個接頭縫隙處，看是否跑氣;其中比較簡單跑氣的當?shù)厥峭嘶馉t進管子的當?shù)睾统龉茏拥漠數(shù)?，這個當?shù)氐拿芊馊μ貏e簡單磨損，要經(jīng)常檢查經(jīng)常換。

?5、爐內(nèi)水汽：一方面檢查爐體材料是否干燥，初次裝爐，爐體材料必需要烘干;二是進爐的不銹鋼管是否殘留過多水漬，特別管子上面如果有孔的話，千萬別漏水進去了，要不然就把爐子氣氛全破壞了。 如果沒有呈現(xiàn)這幾類問題的話開爐后應(yīng)該退20米左右的不銹鋼管就會開始發(fā)亮，是亮得反光的那種。