退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

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用途：各種金屬機(jī)件和材料的回火、淬火、預(yù)熱等熱處理
特點(diǎn)：
1、電爐設(shè)有熱風(fēng)循環(huán)裝置使?fàn)t溫均勻，工件受熱均勻；
2、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，適用于各種類(lèi)型的　機(jī)件回火、淬火、預(yù)熱用；
3、電爐爐襯采用全纖維結(jié)構(gòu)，提高爐體保溫性能，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本；
4、電　爐裝御料方便，操作條件好；
5、爐門(mén)為前后雙開(kāi)式，２只裝料臺(tái)車(chē)輪流工作，節(jié)約能量并提高效率，操作方便；　
6、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故；
7、無(wú)污染，環(huán)保效益好。