退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

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一換向閥和截止閥部分
故障發(fā)生后，主監(jiān)控屏幕上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警信息。根據(jù)告警內(nèi)容可初步確定故障設(shè)備。告警詳細(xì)說(shuō)明下:V101閥位告警、V105閥位告警、加熱段氣體換向告警、加熱段空氣換向告警、絕緣段氣體換向告警、絕緣段空氣換向告警。其中V101閥為加熱段氣體快速切斷閥，V105閥為保溫段氣體快速切斷閥。每個(gè)裝置由動(dòng)作部分和閥門(mén)位置反饋部分組成。動(dòng)作部分由帶有氣動(dòng)元件的電磁閥操作。
故障處理:出現(xiàn)上述告警后，首先查看告警設(shè)備在主監(jiān)控屏幕上顯示的顏色，判斷其狀態(tài)。
如果快速切斷閥顯示黃色,換向閥顯示紅色“X”,也就是說(shuō),行程不到位,檢查行程是否分開(kāi)的設(shè)備,如果沒(méi)有,可以打開(kāi)行程開(kāi)關(guān),檢查是否中風(fēng)的凸輪不到位,適當(dāng)調(diào)整最大弧度壓力彈簧。
如果快速切斷閥或換向閥顯示為紅色或綠色，則可確定其行程正常，調(diào)查的重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)前觀察電磁閥的兩個(gè)插頭上是否有燈光。如果兩者都不亮，那就是電氣故障。然后，如果出現(xiàn)了光亮，可以將兩個(gè)插頭取下，用光亮的插頭依次插在兩個(gè)電磁閥插座上進(jìn)行插拔試驗(yàn)，如果氣缸沒(méi)有動(dòng)作，則是機(jī)械故障。如果氣缸動(dòng)了，那是電氣故障。

二、模擬量部分
這里的模擬量是指溫度、壓力、流量等。除空氣總壓力和氣體總壓力外，其他模擬量不參與控制。

三、控制閥部分
調(diào)節(jié)閥可參考其相關(guān)溫度來(lái)確定設(shè)備是否工作正常。如有故障，先關(guān)閉電源控制柜的電源，現(xiàn)場(chǎng)打開(kāi)閥蓋，確認(rèn)閥模未充電，再用內(nèi)六角扳手旋轉(zhuǎn)閥體。如果轉(zhuǎn)動(dòng)感覺(jué)很卡滯，那是機(jī)械故障，如果轉(zhuǎn)動(dòng)感覺(jué)平穩(wěn)，那是電氣故障。