退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

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1、鋁合金退火爐
首要用于鋁合金、鋁板、均熱退火等熱處理。
鋁合金退火爐是臺車式爐體、循環(huán)體系、導(dǎo)流設(shè)備、加熱元件、裝料小車、爐門升降組織及電器控制體系等組成。
2、多管式不銹鋼絲光亮退火爐
由加熱爐、冷卻器、放卷和收組織以及電控體系組成。
首要適用于不銹鋼絲，銅絲，鐵絲等固溶處理光亮退火。 
3、井式真空退火爐
適用于盤圓線材，鋼帶等退火。在真空狀態(tài)下加熱退火,無氮化,無脫碳.使工件退火后堅(jiān)持光亮。真空井式退火爐首要由爐體、爐膽、真空泵、循環(huán)風(fēng)機(jī)及電器控制體系等部位組成。
4、井式退火爐
適用于盤圓線材，不銹鋼絲、在拉伸前退火處理，少氧化,無脫碳.使工件退火后堅(jiān)持整齊。 特點(diǎn)：可配置多只爐罐，多工位操作，節(jié)約人力資源，進(jìn)步出產(chǎn)效率節(jié)約能源，下降出產(chǎn)成本。
臺車式退火爐首要用于銅棒，鑄鋼件、汽車零部件、軋輥、鋼球、金屬結(jié)構(gòu)件、焊接件正火、退火熱處理之用。臺車式退火爐首要由爐體爐門升降及密封設(shè)備、爐車、爐車傳動組織、電加熱設(shè)備、溫度控制體系等首要部分組成。不需根底安裝，放在水平地面即可運(yùn)用。
5、罩式退火爐
本設(shè)備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金和黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼等卷帶、盤管、線材等退火，無氮化,無脫碳.使工件退火后堅(jiān)持整齊。退火爐具有出產(chǎn)效率高、產(chǎn)品質(zhì)量好、低耗能、無污染、自動操作、安全可靠等優(yōu)點(diǎn)。   罩式爐由一個加熱罩、兩個爐座，閥架及電器控制體系等組成。
6、網(wǎng)帶式不銹鋼退火爐
由上料臺、加熱區(qū)、冷卻段、氨分解爐、電器控制體系等部位組成。首要適用于各種不銹鋼、銅、鐵制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行接連光亮退火，固溶處理。