退火爐是一種新型換熱設(shè)備，在半導(dǎo)體器件制造中有廣泛應(yīng)用。

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退火爐是一種節(jié)能型周期式作業(yè)爐，具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。
退火爐的骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，傳動(dòng)部分采用電動(dòng)機(jī)、減速機(jī)通過(guò)鏈條帶動(dòng)前端一組主動(dòng)輪傳動(dòng)，而爐門傳動(dòng)則采用蝸輪減速機(jī)和電動(dòng)機(jī)組合電動(dòng)升降。
退火爐的密封性能良好，臺(tái)車與爐體密封采用迷宮式結(jié)構(gòu)，并在臺(tái)車側(cè)有自動(dòng)沙封刀密封裝置，爐門密封則采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動(dòng)機(jī)構(gòu)密封。
爐體部分采用優(yōu)質(zhì)耐火磚結(jié)構(gòu)，保證爐膛密封性，而在臺(tái)車耐壓部分則采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。
退火爐的燃燒系統(tǒng)設(shè)計(jì)好，在油爐兩側(cè)各安裝數(shù)只燒咀，熱流在爐內(nèi)往復(fù)循環(huán)，確保爐溫均勻性。
退火爐可根據(jù)需要選定為自動(dòng)型和半自動(dòng)型，并廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過(guò)程中。