真空加熱爐通常指的是電加熱爐，爐中的產(chǎn)品是由包圍真空氣氛包圍進行處理，沒有空氣或其他氣體可防止氧化，通過對流從產(chǎn)品中散失熱量，并消除污染源。

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大多數(shù)真空爐由石墨，陶瓷或金屬制成的電阻元件加熱，真空爐用于執(zhí)行諸如的過程退火，釬焊，燒結和熱處理，具有高稠度和低污染的優(yōu)勢。
真空系統(tǒng)工作時，先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱）同時打開前閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。
當真空度達到系統(tǒng)某設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前閥打開。
此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對井式真空退火爐的真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。
其次，在真空條件下，碳具有很強的脫氧能力，其脫氧產(chǎn)物CO不斷被抽至系統(tǒng)之外，克服了采用金屬脫氧劑脫氧的污染問題，真空爐工藝可控制合金的化學成分，對于含有和氧、氮親和力強的活性元素Al、Ti、B、Zr等，可控制在很少的范圍內。
對低熔點易揮發(fā)的金屬雜質，如Pb、Bi、Sn、Sb等能蒸發(fā)去除，這對提高材料性能起到重要作用，強烈的感應攪拌作用，能加速其反應速度，這對于熔池溫度均勻、化學成分均勻等方面很有果。