目前退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐，原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫速度慢，效率低下，也無法實現(xiàn)溫度的高精度測量，加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象，可實現(xiàn)寬域均熱區(qū)，高速加熱、高速冷卻，用石英管保護(hù)加熱式樣，無氣氛污染，可在高真空，高出純度氣體中加熱，設(shè)備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐，是一種目理想的退火爐。

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高速加熱與冷卻方式；高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫，同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設(shè)氣體冷卻裝置，可實現(xiàn)快速冷卻。
溫度高精度控制；過紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器的組合使用，可以控制樣品的溫度（遠(yuǎn)比普通加溫方式）。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。
不同環(huán)境下的加熱與冷卻；加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫（高純度惰性氣體靜態(tài)或流動）操作簡單，使用石英玻璃制成，紅外線可傳送到加熱/冷卻室。